事業案内

工場設備

PLANT EQUIPMENT

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連続式真空薄膜形成装置 CES-SERIES

成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。光学的膜厚を光学式膜厚モニタにより制御。独自の比率制御法により、高精度の製品を安定的に供給することができます。

連続型真空蒸着装置 eCES-3S-1100

6層AR膜120バッチを前提として設計されています。成膜室には大型エンドレスハースを採用。仕切板により各種試料を自由に分割することが可能です。成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。

スパッタリング成膜装置

反応性DCマグネトロンスパッタリング方式を採用し、波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く成膜でき、装飾膜を含む機能性薄膜、窒化膜などの成膜を実現できます。

超音波洗浄機

精密部品を含めいろいろな基材の洗浄を行っています。環境を配慮して洗剤で汚れを落とし純水を使用してすすぎをして温風で乾燥します。
超音波エネルギー(キャビテーション効果)が汚れの剥離を活発にし大きく洗浄効果を高めます。
基材に負担をかけない洗浄カゴを発案して取り組んでいます。

設備リスト

真空蒸着装置(連続式) 27台
真空蒸着装置(バッチ式) 11台
スパッタ成膜装置4台
分光光度計11台
超音波洗浄機6台
ガラスレンズ加工機20台
レーザーマーキング装置8台
UVシール加工機2台
プラスチック全自動CNC加工機15台
パッド印刷機2台