事業案内

真空蒸着装置

連続式真空薄膜形成装置 CES-SERIES

連続式真空薄膜形成装置
CES-SERIES

成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。
光学的膜厚を光学式膜厚モニタにより制御。独自の比率制御法により、高精度の製品を安定的に供給することができます。

連続型真空蒸着装置 eCES-3S-1100

連続型真空蒸着装置
eCES-3S-1100

6層AR膜120バッチを前提として設計されています。成膜室には大型エンドレスハースを採用。仕切板により各種試料を自由に分割することが可能です。
成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。

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